AD83.40-P-8002-01A | オ一トマチック·クライメ一ト·コントロ一ル(KLA) ニュ一マチック テスト バキュ一ム·バルブ·ブロック |
⇒ | テスト範囲 | テスタ/テスト接続 | 操作/ 前提条件 | 基準値 | • 考えられる原因/ 対策 | ||
1.0 | バキュ一ム·バルブ·ブロック全体 テスト接続の注意事項: テスタの接続口「P」 | システムを300 mbarのバキュ一ムで真空引きします | 圧力上昇は1分間に ≤30 mbar | • バキュ一ム·バルブ·ブロック ⇒ 1.1 | |||
1.1 | バキュ一ム·バルブ·ブロック チェック·バルブ「a」 テスト接続の注意事項: テスタの接続口「1」 | システムを300 mbarのバキュ一ムで真空引きします | 圧力上昇は1分間に ≤30 mbar | • バキュ一ム·バルブ·ブロック ⇒ 1.2 | |||
1.2 | バキュ一ム·バルブ·ブロック チェック·バルブ「b」 テスト接続の注意事項: テスタの接続口「4」 | システムを300 mbarのバキュ一ムで真空引きします | 圧力上昇は1分間に ≤30 mbar | • バキュ一ム·バルブ·ブロック | |||