AD80.20-P-8004-01B | MKS ニュ一マチック テスト 装置全体 マルチフォ一ム·シ一ト | エア·クッション上部の高さ選択 |
⇒ | テスト範囲 | テスタ/テスト接続 | 操作/ 前提条件 | 基準値 | • 考えられる原因/ 対策 | ||
1.0 | 装置全体 (エア·クッション上部の高さ選択) テスト接続の注意事項: テスタの黄色の接続部 | 上部の高さ選択のプレッシャ·コントロ一ラを最高にする。 下部の高さ選択のプレッシャ·コントロ一ラを最低にし、シ一ト·クッション前後長のプレッシャ·コントロ一ラを最短にする サイド·サポ一トのロッカ·スイッチを最低にする 装置に600 mbarの正圧をかける | 1分間に≤30 mbarの圧力降下 | ||||
参照文書
- ad8020p800405a MKS ニュ一マチック テスト 配管付きリザ一バ
- ad8020p800406a MKS ニュ一マチック テスト 配管付きコントロ一ル·バルブ
- ad8020p800407a MKS ニュ一マチック テスト マルチフォ一ム·シ一ト·コントロ一ル·バルブ
- ad8020p800408a MKS ニュ一マチック テスト 配管
- ad8020p800409a MKS ニュ一マチック テスト エア·クッション